準分子激光精密加工系統
產(chǎn)品描述
準分子激光精密加工系統是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系統,可應用于半導體、顯示及微電子行業(yè)的光刻、蒸鍍、蝕刻、退火、表面處理、剝離、檢測等不同工藝。
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 激光器穩定、壽命長(cháng)
- 加工精度高
- 高精度運動(dòng)平臺
- 平頂均勻分布光斑
- 適合多種半導體工藝
- 高度自動(dòng)化集成
系統參數
波長(cháng) | 308nm、248nm、193nm |
功率 | 1200W |
重復頻率 | 300Hz |
加工精度 | ±1μm |
晶圓尺寸 | 2/4/8/12inch |
產(chǎn)品應用
- LED/OLED wafer劃線(xiàn)/燒蝕/剝離
- 生物醫學(xué)微電路加工
- 聚合物噴墨嘴加工
- 陶瓷微流器件加工
- 太陽(yáng)能電池薄膜加工
樣品展示
- 材料:LED & OLED面板
- 加工速度:>150mm/s
- 用途:晶圓切割、劃線(xiàn)、剝離、燒蝕
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