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準分子激光精密加工系統


產(chǎn)品描述

準分子激光精密加工系統是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系統,可應用于半導體、顯示及微電子行業(yè)的光刻、蒸鍍、蝕刻、退火、表面處理、剝離、檢測等不同工藝。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 激光器穩定、壽命長(cháng)
  • 加工精度高
  • 高精度運動(dòng)平臺
  • 平頂均勻分布光斑
  • 適合多種半導體工藝
  • 高度自動(dòng)化集成

系統參數

波長(cháng) 308nm、248nm、193nm
功率 1200W
重復頻率 300Hz
加工精度 ±1μm
晶圓尺寸 2/4/8/12inch

產(chǎn)品應用

  • LED/OLED wafer劃線(xiàn)/燒蝕/剝離
  • 生物醫學(xué)微電路加工
  • 聚合物噴墨嘴加工
  • 陶瓷微流器件加工
  • 太陽(yáng)能電池薄膜加工

樣品展示

  • 材料:LED & OLED面板
  • 加工速度:>150mm/s
  • 用途:晶圓切割、劃線(xiàn)、剝離、燒蝕

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