LED/OLED wafer劃線(xiàn)、切割、燒蝕、剝離
利用深紫外波段激光，對wafer進(jìn)行加工。準分子激光輸出的光為平頂光，激光均勻性好，適用于半導體行業(yè)多種應用。
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利用深紫外波段激光，對wafer進(jìn)行加工。準分子激光輸出的光為平頂光，激光均勻性好，適用于半導體行業(yè)多種應用。
